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沟道刻蚀型a-Si TFT(etching-stopper type a-Si TFT)

发布时间:2012-9-5 17:48:24   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 沟道刻蚀型a-Si TFT(etching-stopper type a-Si TFT)

中文:沟道刻蚀型a-Si TFT

英文:etching-stopper type a-Si TFT

日文:

几种a-Si TFT结构中的一种。其成形方法是在栅极图案形成之后,用PECVD法相继形成栅极绝缘膜、非掺杂a-Si膜和n+a-Si膜。接着在TFT的n+及非掺杂a-Si层进行刻蚀以形成图案,然后形成源极、漏极膜,并对其刻蚀形成图案。再以源极、漏极图案作掩膜,对电极间n+a-Si膜进行刻蚀。


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