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光刻胶剥离设备(resist-stripping system)

发布时间:2012-9-14 16:54:05   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 光刻胶剥离设备(resist-stripping system)

中文:光刻胶剥离设备

英文:resist-stripping system

日文:

将经过刻蚀后已不需要的剩余光刻胶剥离去除的设备,即去膜设备。


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