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扫描电子显微镜(SEM)

发布时间:2012-9-17 11:02:39   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 扫描电子显微镜(SEM)

中文:扫描电子显微镜

英文:SEM( scanning electron microscope)

日文:

给物质表面照射以电子束,并据其反射电子和二次电子来观察物质原子和构造形状的装置。SEM是检查半导体(包括晶体管)器件的重要手段。
 


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