12月26日,天马新型显示技术研究院(厦门)有限公司搬入首台设备。
据迈为股份官微消息,此次搬入的设备为Micro LED巨量转移设备,是由迈为股份自主研发、设计、制造的。该设备采用激光巨量转移技术,利用特殊整形后的方形匀化光斑,结合高速度高精度振镜扫描,可以实现高效率及高品质的加工,将微米级Micro LED晶粒批量转移到目标基板上。
迈为股份表示,Micro LED巨量转移设备是Micro LED制程中的核心装备及高价值装备之一,是影响Micro LED良率与制造成本的关键。在前期的产品验证阶段,迈为股份和天马新型显示技术研究院基于各自的专业领域携手合作,迈为从整线设备方案出发优化设备结构设计与激光工艺技术,天马新型显示技术研究院从芯片与胶材开发方面提升工艺窗口,最终成功实现大范围三色拼接转移验证,且转移后无明显尘粒(particle),落位精度及偏转角度均达到行业领先水平。今年6月30日,双方就此款设备达成采购订单。
除Micro LED巨量转移之外,迈为股份还与天马新型显示技术研究院在激光剥离、激光键合设备及工艺领域协力开发,致力于共同开创基于TFT(薄膜晶体管)技术的Micro LED技术新纪元。